●高純度●高強(qiáng)度●高硬度●高耐磨性●耐高溫●高耐腐蝕、●抗熱抗震性好●自潤滑好●導(dǎo)熱系數(shù)大以及抗氧化性高等優(yōu)越性能●重量輕
眾力碳化硅晶舟采用碳化硅高純粉末>99.9%,通過干壓或等靜壓成型,常壓燒結(jié),制品不含金屬硅等金屬雜質(zhì)。根據(jù)客戶設(shè)計(jì)制作各種型式規(guī)格,質(zhì)量穩(wěn)定,交期可靠,最高使用溫度可達(dá)1800°C,使用周期長,質(zhì)量輕振動(dòng)幅度小,表面易清潔等
1. 高純碳化硅粉
2. 開模具加工:干壓成型、CIM注射成形、等靜壓成型。
3. 外型加工:平面研磨、外徑/內(nèi)徑研磨、精雕機(jī)加工、研磨、拋光研磨。
●半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)●LED光電產(chǎn)業(yè)●太陽能等產(chǎn)業(yè)●擴(kuò)散制程用之晶圓載具等
基礎(chǔ)特性 | 主要成分純度(wt%) | 99 | |
顏色 | 黑色 | ||
密度(g/cm3) | 3.16 | ||
吸水性(%) | 0 | ||
機(jī)械特性 | 彈性模量GPa | 450 | |
抗壓強(qiáng)度MPa | 224 | ||
抗彎強(qiáng)度(MPa) | 400 | ||
泊松比 | 0.14 | ||
維氏硬度(GPa) | 30 | ||
熱特性 | 最熱作業(yè)溫度(℃) | 1600 | |
熱膨脹系數(shù)(1/℃×10-6) | RT~500℃ | 3.9 | |
RT~800℃ | 4.3 | ||
導(dǎo)熱系數(shù)(W/m x K) | 40 | ||
熱震抗性△T(℃) | 300 | ||
電特性 | 體積電阻率 | 25℃ | 3x10的6次方 |
介電常數(shù) | 10GHz |
根據(jù)產(chǎn)品
應(yīng)用要求
設(shè)計(jì)研發(fā)
優(yōu)化方案
嚴(yán)密精
準(zhǔn)出圖
嚴(yán)格挑
選原料
多種成型
燒結(jié)成坯
研磨拋光
精密加工
多種檢具
專業(yè)測量
合格產(chǎn)品
包裝出貨
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